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質問

終了

「電子ビーム露出装置」とは何ですか?解りやすく教えてください。

  • 質問者:匿名希望
  • 質問日時:2010-05-23 00:00:49
  • 0

回答してくれたみんなへのお礼

ご回答有難うございました。
質問から30分経過し、十分納得のいく回答も頂きましたし、後続の回答も途切れたようなので終了とさせて頂きました。
有難うございました。
またのご回答をお待ちしています。
おやすみなさい。

電子線描画装置のことでは
電子線描画装置(でんしせんびょうがそうち、電子ビーム描画装置、電子ビーム露光装置、EB露光装置)は、電子線加工装置と走査型電子顕微鏡を応用したもので、主に半導体用レチクル作成に用いられます。
電子銃から発せられた電子線を電子レンズやアパーチャー、デフレクタなどを通し、X-Y-Zステージを微細に制御しながらマスクブランクスへ照射して目的のパターンを露光します。http://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%9B%BB%E5%AD%90%E7%B7%9A%E6%8F%8F%E7%94%BB%E8%A3%85%E7%BD%AE

===補足===
1.スポットビーム(ポイントビーム)
2.可変成形ビーム(矩形ビーム)
3.Character Projection(CP)方式ビーム
の3種類があるようです
詳しくはウィキに
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%9B%BB%E5%AD%90%E7%B7%9A%E6%8F%8F%E7%94%BB%E8%A3%85%E7%BD%AE
特許
h ttp://www.patentjp.com/07/V/V100003/DA11031.html
装置
h ttp://j.tokkyoj.com/data/G02B/2546366.shtml

  • 回答者:匿名 (質問から6分後)
  • 0
この回答の満足度
  
とても参考になり、非常に満足しました。回答ありがとうございました。

並び替え:

透過型電子顕微鏡における写真撮影時に、確実な精度をもって露出制御が可能な電子線測定装置に関する装置と言う事でいいですかね。
像観察と電子線強度測定が同時並行で、特別の操作なしに行なえ、観察者が像記録媒体に確実に最適露出を与える事が可能となります。
観察用蛍光スクリーンに投射される電子線強度を測定する事により、正確で再現性の高い露出制御が行なえます。
これは、像を形成する蛍光スクリーンに投射される電子ビームの一部を、傾斜した反射鏡により像形成ビーム経路より取り出し、その電子線強度を測定して蛍光スクリーン上の電子線像の撮影のための露出制御をする方式です。
従来は、観察者の肉眼観察による経験によって写真露出調整がされるか、写真撮影時に電子線強度検出装置を蛍光スクリーンの前方に配置するか、あるいは蛍光スクリーンに流れ込む電子を電流信号として利用する方法です。
ただし精度が低い、特別の操作を要し観察が中断される、高エネルギー電子線を用いる超高圧電子顕微鏡では検出電流が電子線強度に比例しないといった問題があるようです。

  • 回答者:匿名希望 (質問から27分後)
  • 0
この回答の満足度
  
とても参考になり、非常に満足しました。回答ありがとうございました。

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