すべてのカテゴリ » 知識・教養・学問 » 知識・学問 » 経済・産業

質問

終了

半導体用高純度ガスとはどういうものですか?解り易く教えてください。

  • 質問者:匿名希望
  • 質問日時:2010-11-16 00:02:02
  • 0

回答してくれたみんなへのお礼

ご回答有難うございました。
質問から30分経過し、十分納得の行く回答も戴きましたし、後続の回答も無いようなので終了とさせて頂きました。(終了時間・0:35)
有難うございました。

高純度ガスは特定不純物が一定濃度以下で保証された固有の性質を持つ単成分の
圧縮ガス又は液体ガスです
ゼロガス、キャリヤー、雰囲気などの用途に使用されます
高純度ガスにはヘリウム、水素、窒素、アルゴン等が挙げられ、分析機器の校正や
半導体材料のキャリアガスなどとして使用されています
校正などに使用されることから、不純物は極力低減されています
半導体材料ガスは、半導体製造工程に使用されるガスのことを指しますが、その数は実に30種類以上に及んでいます
一部アンモニアなどは自然界に存在していますが、ほとんどのガスはそれ自体として自然界には存在していません
http://www.jimga.or.jp/industrial/gas/index02f.php

  • 回答者:匿名 (質問から17分後)
  • 0
この回答の満足度
  
とても参考になり、非常に満足しました。回答ありがとうございました。

関連する質問・相談

Sooda!からのお知らせ

一覧を見る