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三フッ化窒素という物質が従来推定されていた量の3倍以上も大気中に蓄積されているということですが、これはどのような物に使われているのですか?

  • 質問者:questioner
  • 質問日時:2008-10-25 20:41:55
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回答してくれたみんなへのお礼

ご回答ありがとうございました。とても勉強になりました。

空気より重い、毒性のある気体ですが、

主に、半導体工場で、半導体・液晶製造装置用クリーニング剤(掃除用)やドライエッチング剤(材料をエッチング(表面加工)するため)として使われています。

  • 回答者:知識人 (質問から15分後)
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とても参考になり、非常に満足しました。回答ありがとうございました。

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半導体の製造に使われるのは有名ですね。シリコンをイオン注入によってP型半導体にするときに使います。あとはポリエステルを作る際の触媒としても使われるそうです。大量に使われそうなのは後者の方だと思いますので、それが大気中に流出しているということですかねぇ。

  • 回答者:Sooda! ちゃん (質問から11分後)
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とても参考になり、非常に満足しました。回答ありがとうございました。

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